互聯(lián)網(wǎng) 中國團隊開發(fā)新的5 nm超高精度激光光刻處理方法 2020-07-14 一個中國團隊最近在《納米快報》上發(fā)表了一篇研究論文,描述了一種新型的5 nm超高精度激光光刻處理方法。這項研究是由中國科學院蘇州納米