大家好，小新來為大家解答以上的問題。電子束蒸發(fā)，關(guān)于電子束蒸發(fā)的介紹很多人還不知道，現(xiàn)在讓我們一起來看看吧！

1、真空蒸發(fā)工藝是將固體材料置于高真空環(huán)境中加熱，使之升華或蒸發(fā)并淀積在特定的襯底上，以獲得薄膜的工藝方法。

2、真空蒸發(fā)工藝在微電子技術(shù)中主要用于制作有源元件、器件的接觸及其金屬互連、高精度低溫度系數(shù)的薄膜電阻器，以及薄膜電容器的絕緣介質(zhì)和電極等。

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